設(shè)備:汞探針CV濃度測(cè)試儀CVmap 92A
廠商:美國Four Dimensions, Inc.(簡稱4D)
用途:檢測(cè)SiC/GaN外延層載流子濃度分布
技術(shù)指標(biāo):
具有不同面積汞接觸, 點(diǎn)-環(huán)接觸等功能,可測(cè)試SiC,GaN等半導(dǎo)體晶片載流子濃度分布
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